特許
J-GLOBAL ID：200903088242798341
プラズマ環境下走査式トンネル顕微鏡
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-251227
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064349
出願日： 1997年08月13日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【目的】走査式プローブ顕微鏡は、真空、ガス中、液体中での固体表面構造の解折に用いられている。本発明は、プラズマ環境下で作動するプラズマ環境下走査式プローブ顕微鏡の開発を通して、プラズマ環境下での固体表面構造解析、電子構造解析、物質合成という、走査式プローブ顕微鏡の新しい応用分野を切り開くものである。【構成】 低温プラズマ発生部と30V以上の耐プラズマ電圧性エレクトロニクスを有する走査式トンネル顕微鏡部とから構成され、先端10μm以下の微小部を残し絶縁被覆した探針を用い、プラズマ環境下で動作/計測を可能とする走査式トンネル顕微鏡。 本装置を用い、プラズマ環境中という新しい環境下での固体表面構造解析、電子構造解析、物質合成という、走査式プローブ顕微鏡の新しい応用分野を開拓するものである。
請求項（抜粋）：
低温プラズマ発生部と走査式トンネル顕微鏡部とから構成され、低温プラズマ環境下で動作/計測を可能とする走査式トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 B
, G01B 7/30 Z
