研究者
J-GLOBAL ID：200901000565426050
更新日: 2022年09月28日
熊野 弘之
クマノ ヒロユキ | Kumano Hiroyuki
所属機関・部署：
旧所属 東北大学 大学院工学研究科
旧所属 東北大学 大学院工学研究科 について
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職名：
大学院学生(博士課程)
研究分野 (1件)：
材料力学、機械材料
競争的資金等の研究課題 (2件)：
1999 - キャビテーション噴流を利用したゲッタリング
1999 - Gettering by using a cavitating jet
MISC (7件)：
Evaluation of Peening Intensity of Cavitation Shotless Peening by Using Almen Strip. Proceedings of APCFS and ATEM'01. 2001
熊野 弘之, 祖山 均, 坂 真澄. Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using a Cavitating Jet. 噴流工学. 2001. 18. 2. 4-9
Backside Damage Introduced by Cavitating Jet for Gettering. Proceedings of Inter Pack'01. 2001
H Soyama, H Kumano. Oxidation-induced stacking faults introduced by using a cavitating jet for gettering in silicon. ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS. 2000. 3. 2. 93-94
キャビテーション噴流によるシリコンウェーハへのバックサイドダメージの導入. 日本機械学会東北支部第35期総会・講演会講演論文集. 2000
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学歴 (4件)：
- 2000 東北大学 工学研究科 機械知能工学
- 2000 東北大学
- 1998 東北大学 工学部 機械知能工学
- 1998 東北大学
学位 (1件)：
修士(工学) (東北大学)
受賞 (1件)：
2000 - 日本機械学会東北支部独創研究学生賞
所属学会 (1件)：
日本機械学会
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