研究者
J-GLOBAL ID:200901089925275130
更新日: 2008年09月28日
歳川 清彦
トシカワ キヨヒコ | Toshikawa Kiyohiko
所属機関・部署:
宮崎沖電気株式会社
宮崎沖電気株式会社 について
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職名:
その他
研究キーワード (1件):
真空紫外光CVD
競争的資金等の研究課題 (2件):
2002 - 2004 真空紫外光CVD法によるシリコン薄膜作製の研究
-
特許 (1件):
特許第342959号
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