松塚直樹

マツヅカナオキ | Matsuzuka Naoki

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (1件)：材料力学、機械材料

研究キーワード (8件)：ピエゾ抵抗効果 , マイクロメカニックス , 微細加工技術 , Piezoresistive effect , Micro Electro Mechanical Systems , Micro Electro Mechanical Systems , Micromechanics , Micromachining

論文 (13件)：

Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Ryota Tsutsui, Hiroyuki Kishihara, Naoki Matsuzuka, Ichiro Yamashita, Yukiharu Uraoka, Yoshitada Isono. Fabrication and characterization of a CNT forest integrated micromechanical resonator for a rarefied gas analyzer in a medium vacuum atmosphere. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2016. 26. 7. 075010 1-9
Naoki Matsuzuka, Takuya Hara, Yoshitada Isono. Semi-empirical calculation for design of flexural mode silicon Mechanical resonator with variable cross section. Sensors and Actuators A-Physical. 2016. 243. 25-34
Lydia Anggraini, Bungo Tanaka, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono. Scanning probe lithography with negative and positive electron beam resists. Japanese Journal of Applied Physics. 2013. 52. 5. 056501 1-8
松塚直樹, 鳥山寿之. 優先配向を有する多結晶シリコン薄膜におけるピエゾ抵抗係数の上下界導出法. 材料. 2012. 61. 3. 280-285
Naoki Matsuzuka, Toshiyuki Toriyama. Analysis of the piezoresistive properties of isotropic polysilicon based on a self-consistent micromechanics model. Smart Materials and Structures. 2011. 20. 8. 085018 1-8

MISC (38件)：

松塚直樹, 安木大恭, 近藤直輝, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正. たわみを有する両端固定梁の光応答周波数変化の計算. 第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム. 2023. 7A3-D-5 1-4
Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Ryota Tsutsui, Hiroyuki Kishihara, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono. Fabrication and Characterization of CNT Forest Integrated Micromechanical Resonator for Rarefied Gas Sensor. The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. 2016. C2L-D-4
Hiroyuki Kishihara, Itsuo Hanasaki, Naoki Matsuzuka, Ichiro Yamashita, Yukiharu Uraoka, Yoshitada Isono. DEVELOPMENT OF MWCNT EMBEDDED MICROMECHANICAL RESONATOR WORKING AS RAREFIED GAS SENSOR. 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2013). 2013. 985-988
清水佑一, 荒巻雄一, 松塚直樹, 鳥山寿之. マイクロメカニックスに基づく多結晶シリコン薄膜のピエゾ抵抗係数解析. 関西学生会学生員卒業研究発表講演会. 2012. 6-18
岸原宏幸, 原拓也, 鄭彬, 浦岡行治, 山下一郎, 松塚直樹, 花崎逸雄, 磯野吉正. CNT実装MEMS共振型ガスセンサの開発. 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム. 2011. 561-564

特許 (1件)：

微細構造体の製造方法とこれによって製造された微細構造体

書籍 (3件)：

専門基礎ライブラリー「実例で学ぶ機械設計製図」
実教出版 2019
専門基礎ライブラリー「機械設計」
実教出版 2017
Advanced Miro & Nanosystems Vol. 7 LIGA and its Applications
WILEY-VCH Verlag Gmbh & Co. KGaA 2009

講演・口頭発表等 (16件)：

たわみを有する両端固定梁の光応答周波数変化の計算
(第40回「センサとマイクロマシン応用システム」シンポジウム 2023)
マイクロマシン技術
(平成29年度明石高専技術講演会 2017)
マイクロマシン技術の基礎
(第81回明石高専イヴニングセミナー 2014)
マイクロメカニックス理論に基づくMEMS用薄膜材料の機械・電気物性解析法
(第48回マイクロマテリアル部門委員会(日本材料学会) 2014)
多結晶シリコン材料のピエゾ抵抗効果評価法
(日本機械学会2010年度年次大会 2010)

学位 (1件)：

博士(工学)

経歴 (5件)：

2015/04 - 現在明石工業高等専門学校機械工学科准教授
2015/04 - 2018/03 神戸女学院大学人間科学部非常勤講師
2012/04 - 2015/03 明石工業高等専門学校機械工学科講師
2008/04 - 2012/03 立命館大学総合理工学院理工学部マイクロ機械システム工学科助教
- 2008/03 立命館大学総合理工学研究機構ポストドクトラルフェロー

委員歴 (3件)：

2017/04 - 2019/03 一般社団法人日本機械学会関西支部技術情報誌「MECHAVOCATION」編集委員
2017/04 - 2019/03 一般社団法人日本機械学会関西支部商議員
2008/04 - 2008/09 日本機械学会 M&M2008材料力学カンファレンス実行委員

所属学会 (3件)：

電気学会 , 日本材料学会 , 日本機械学会

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