研究者
J-GLOBAL ID:200901090910816095   更新日: 2020年05月15日

中村 圭二

ナカムラ ケイジ | Nakamura Keiji
所属機関・部署:
職名: 助教授
研究分野 (3件): 電力工学 ,  プラズマ科学 ,  プラズマ応用科学
研究キーワード (4件): 電力工学 ,  プラズマ理工学 ,  Electric Power Engineering ,  Science and Engineering of Plasma
競争的資金等の研究課題 (6件):
  • 1999 - 超伝導電力機器の開発
  • 1999 - Development of Superconductor Electric Power Devices
  • 1994 - 反応性プラズマ中のラジカル計測
  • 1994 - 材料プロセス用高密度プラズマの生成・制御
  • Radical Diagnostics in Reactive plasmas.
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MISC (15件):
書籍 (2件):
  • In Situ Process Monitoring in Plasma Immersion Ion Implantation Based on Measurements of Secondary Electron Emission Coefficient
    Surface and Coating Technology 2002
  • In Situ Process Monitoring in Plasma Immersion Ion Implantation Based on Measurements of Secondary Electron Emission Coefficient
    Surface and Coating Technology 2002
学歴 (2件):
  • - 1990 名古屋大学 工学研究科 電気工学
  • - 1990 名古屋大学
学位 (1件):
  • 博士(工学)
受賞 (2件):
  • 1993 - 電気学会
  • 1991 - 電気学会
所属学会 (3件):
プラズマ・核融合学会 ,  応用物理学会 ,  電気学会
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