研究者
J-GLOBAL ID:200901096048653494
更新日: 2011年02月02日
吉田 知也
ヨシダ トモヤ | Yoshida Tomoya
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所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 機能集積システムグループ
独立行政法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 機能集積システムグループ について
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職名:
その他,研究員
ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T08065426
研究分野 (1件):
電子デバイス、電子機器
研究キーワード (3件):
微細加工プロセス
, イオン照射
, フィールドエミッタ
競争的資金等の研究課題 (2件):
2005 - イオン照射誘起薄膜直立化現象を利用したエミッタアレイの開発
-
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