文献

J-GLOBAL ID：200902007965184518   整理番号：92A0438902

M=0ヘリコンプラズマ(1)(Cl₂プラズマ中でのプラズマパラメーター測定)

M=0Helicon Plasma(1) (Plasma Parameter Measurements in Cl₂ Plasma).

著者 (5件)： 野上裕 (日電アネルバ) ,  小河原米一 (日電アネルバ) ,  真白すぴか (日電アネルバ) ,  塚田勉 (日電アネルバ) ,  PEARSON D I C (PMT Inc.)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 39th  号： Pt 1  ページ： 37  発行年： 1992年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： ヘリコンプラズマ ,  プラズマ ,  プラズマパラメーター