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J-GLOBAL ID：200902076450803411   整理番号：91A0527007

自由落下粒子のレーザアブレーションによるMoSi₂薄膜の蒸着

Deposition of MoSi₂ thin films by laser ablation from free-falling particles.

著者 (3件)： SCHRAG G M (Univ. Florida, FL, USA) ,  COLGATE S O (Univ. Florida, FL, USA) ,  HOLLOWAY P H (Univ. Florida, FL, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 199  号： 2  ページ： 231-240  発行年： 1991年04月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超高真空中で自由落下する微粒子をCO₂...

シソーラス用語： レーザ加熱 ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 自由落下 ,  レーザアブレーション ,  薄膜 ,  蒸着