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文献
J-GLOBAL ID:200902076487979382   整理番号:91A0081263

CF4からのCF3+生成エネルギー CF3+の熱化学に関連したイオン/分子反応

The appearance energy of CF+3 from CF4: ion/molecule reactions related to the thermochemistry of CF+3.
著者 (2件):
資料名:
巻: 101  号:ページ: R1-R6  発行年: 1990年11月15日 
JST資料番号: D0625A  ISSN: 0168-1176  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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シリコンエッチング用プラズマ中の活性F原子源となり,かつキャ...
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