TiN<sub>x</sub>O<sub>y</sub>化合物の光吸収

VOGELZANG E; SJOLLEMA J; BOER H J; DE HOSSON J T M

文献

J-GLOBAL ID：200902076519121601 整理番号：87A0533248

TiN_xO_y化合物の光吸収

Optical absorption in TiN_xO_y-compounds.

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巻： 61 号： 9 ページ： 4606-4611 発行年： 1987年05月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

dc反応性マグネトロンスパッタリングによってTi,TiN<s...

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半導体結晶の電子構造 , 光学スペクトル及び光散乱一般 , その他の無機化合物の薄膜

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TiNxOy化合物の光吸収

TiN_xO_y化合物の光吸収