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J-GLOBAL ID:200902076519338740   整理番号:87A0359750

SiGe合金の液相エピタクシー

Liquid phase epitaxy of SiGe alloys.
著者 (4件):
資料名:
ページ: 771-774  発行年: 1986年 
JST資料番号: K19870207  ISBN: 9971-50-197-X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: シンガポール (SGP)  言語: 英語 (EN)
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SiGe合金の液相エピタクシーの成長条件について述べ,成長過...
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 
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