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文献J-GLOBAL ID:200902076576745646整理番号:82A0091025

Observation of grain boundary hydrogen in polycrystalline silicon with Fourier transform infrared spectroscopy.

Fourier変換赤外分光法による多結晶Si内粒界水素の観察

著者:GINLEY D S(Sandia National Lab., New Mexico)、HAALAND D M(Sandia National Lab., New Mexico)
資料名:Appl Phys Lett 巻:39 号:3 ページ:271-273
発行年:1981年08月01日
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