文献
J-GLOBAL ID：200902076606720260   整理番号：93A0190363

1/8 μm optical lithography.

著者 (7件)：
OWEN G

OWEN G について

(Hewlett Packard Co., California)

Hewlett Packard Co., California について

, 
PEASE R F W

PEASE R F W について

(Stanford Univ., California)

Stanford Univ., California について

, 
MARKLE D A

MARKLE D A について

(Ultratech Stepper, California)

Ultratech Stepper, California について

, 
GRENVILLE A

GRENVILLE A について

(Stanford Univ., California)

Stanford Univ., California について

, 
HSIEH R L

HSIEH R L について

(Stanford Univ., California)

Stanford Univ., California について

, 
VON BUENAU R

VON BUENAU R について

(Stanford Univ., California)

Stanford Univ., California について

, 
MALUF N I

MALUF N I について

(Stanford Univ., California)

Stanford Univ., California について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 10  号： 6  ページ： 3032-3036  発行年： 1992年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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