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J-GLOBAL ID：200902106120095581   整理番号：98A0481501

Macro Cavity法によるInP MOVPEプロセスにおける表面反応の解析

Analysis of surface reactions in the InP MOVPE process by the Macro Cavity method.

著者 (7件)： ASAWAMETHAPANT W (東大) ,  杉山正和 (東大) ,  須藤信也 (東大) ,  霜垣幸浩 (東大) ,  中野義昭 (東大) ,  小宮山宏 (東大) ,  多田邦雄 (東大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 45th  号： 1  ページ： 321  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： InP ,  MOVPE ,  プロセス ,  表面反応 ,  解析