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J-GLOBAL ID：200902117824548486   整理番号：01A0672602

局所清浄化に関する研究 その7 ウェーハ搬送容器周りじんあい拡散低減方法の検討

Study on local cleaning system in clean room (7)-A method of particles contamination reduction in 300mm FOUP.

著者 (5件)： 南輝雄 (日立プラント建設) ,  後藤田龍介 (日立プラント建設) ,  高橋稔 (日立プラント建設) ,  平田順太 (日立プラント建設) ,  小林義明 (日立)
資料名： 空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集  (空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 19th  ページ： 83-85  発行年： 2001年04月18日 
JST資料番号： Y0789A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： クリーンルーム運転費低減策として用いるminienviron...

シソーラス用語： *クリーンルーム ,...
準シソーラス用語： ミニエンバイロメント ,...

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分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 清浄化 ,  研究 ,  ウェーハ ,  搬送容器 ,  じんあい ,  拡散