CZ-Si中に形成される窒素に関係するDeep Level

文献

J-GLOBAL ID：200902118944992874 整理番号：94A0451153

Generation of nitrogen related deep level in CZ-Si.

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資料名：
巻： 41st 号： Pt 1 ページ： 266 発行年： 1994年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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