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J-GLOBAL ID:200902163036131347   整理番号:03A0069627

Tropel Cylindermaster CM25の光学システムに基づくすれすれ入射干渉法の測定結果に及ぼす軸円柱形状誤差の影響のモデリング

Modelling the Influences of Axial Cylindrical Form Errors on the Measurement Result of the Gracing Incidence Interferometry Based on the Optical System of the Tropel Cylindermaster CM25.
著者 (2件):
資料名:
号: 1694  ページ: 167-171  発行年: 2002年 
JST資料番号: H0299A  ISSN: 0083-5560  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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干渉測定と干渉計 

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