半導体・FPD(フラットパネルディスプレイ)の検査・製造装置  大流量排気型ターボ分子ポンプの開発

山口均; 久保雅英; 太田知男; 長野善宏; 伊藤喜直

文献

J-GLOBAL ID：200902171795251546 整理番号：02A0075956

半導体・FPD(フラットパネルディスプレイ)の検査・製造装置大流量排気型ターボ分子ポンプの開発

Semicondactor and Flat Panel Display. Development of High Throughput Turbo Molecular Pumps.

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資料名：
巻： 58 号： 1/2 ページ： 11-16 発行年： 2001年12月05日
JST資料番号： F0302A ISSN： 0371-005X CODEN： SHHYAG 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

著者らは,バックポンプと一緒に使用し,真空容器の内部を超高真...

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固体デバイス製造技術一般 , 真空技術

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半導体・FPD(フラットパネルディスプレイ)の検査・製造装置 大流量排気型ターボ分子ポンプの開発

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