文献
J-GLOBAL ID：200902179786266663
整理番号：95A0341828
ECR型イオン源を用いたダイヤモンド(100)面の酸素イオンビーム加工 (第1報) 加工速度のイオン入射角依存性について
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著者 (5件)：
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資料名：
巻：
1994
号：
Autumn 3
ページ：
875-876
発行年：
1994年09月
JST資料番号：
Y0914A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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