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J-GLOBAL ID：200902181463808429   整理番号：96A0825121

クリーンルーム内の循環気流は,帯電要因とならない クリーンルームにおける静電気対策

Circulation air flow is not an electrification factor in a clean room. Static electricity countermeasures in a clean room.

著者 (2件)： 水野則康 (テクノ菱和) ,  鈴木国夫 (テクノ菱和)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 6  号： 9  ページ： 55-58  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体工場のクリーンルームにおける帯電の要因を考察した。帯電...

シソーラス用語： クリーンルーム ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： クリーンルーム ,  循環 ,  気流 ,  帯電 ,  要因 ,  静電気 ,  対策