KIM J-H について
Hyundai Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR について
RYU J-O について
Hyundai Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR について
KIM J-S について
Hyundai Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR について
LEE B-C について
Hyundai Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR について
KIM J-W について
Hyundai Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR について
SEOL Y-S について
Hyundai Electronics Ind. Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR について
Proceedings of the 12th International Symposium on Plasma Processing, 1998 について
Ar について
化学 について
高密度 について
誘導結合プラズマ について
窒化物 について
障壁 について
自己整列 について
コンタクト について
酸化物 について
エッチング について