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文献
J-GLOBAL ID:200902203796085800   整理番号:07A1216157

静電コーム駆動XYステージによる二次元f-θマイクロ光学レンズスキャナ

A two-dimensional f-θ micro optical lens scanner with electrostatic comb-drive XY-stage
著者 (10件):
資料名:
巻:号: 21  ページ: 542-547 (J-STAGE)  発行年: 2005年 
JST資料番号: U0039A  ISSN: 1349-2543  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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光学情報処理 
引用文献 (9件):
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