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J-GLOBAL ID：200902209287170830   整理番号：03A0659983

MIM-Ru/Ta₂O₅/RuキャパシタにおけるRu/TiNバリア導通抵抗のTiN膜質依存性

著者 (5件)： 川越剛 (エルピーダメモリ) ,  中村吉孝 (エルピーダメモリ) ,  浅野勇 (エルピーダメモリ) ,  中西成彦 (エルピーダメモリ) ,  五嶋秀和 (エルピーダメモリ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 64th  号： 2  ページ： 737  発行年： 2003年08月30日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MIM構造 ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F)

タイトルに関連する用語 (9件)： MIM ,  Ru ,  Ta2O5 ,  キャパシタ ,  TiN ,  バリア ,  導通 ,  TiN膜 ,  依存性