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J-GLOBAL ID：200902214516970423   整理番号：09A1134404

電気流体力学(EHD)インクジェットヘッドのためのナノスケールノズルの作製及びドロップオンデマンド動作による高精密パターニング

Fabrication of Nanoscale Nozzle for Electrohydrodynamic (EHD) Inkjet Head and High Precision Patterning by Drop-on-Demand Operation

著者 (6件)： NGUYEN Vu Dat (Konkuk Univ., Seoul, KOR) ,  SCHRLAU Michael G. (Univ. Pennsylvania, PA, USA) ,  TRAN Si Bui Quang (Konkuk Univ., Seoul, KOR) ,  BAU Haim H. (Univ. Pennsylvania, PA, USA) ,  KO Han Seo (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  BYUN Doyoung (Konkuk Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 9  号： 12  ページ： 7298-7302  発行年： 2009年12月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールノズルを有するEHDインクジェットプリントヘッドを用いた,ドロップオンデマンド液滴放出及びパターン形成を述べた。ノズル用の電極を作製するために,電気導電層を,石英ノズルの内部あるいは外部に堆積し,それらの性能を評価した。外部を被覆したノズルでは,液体流がオーバーフローして放出することを示した。内部を銀で被覆したとき,オーバーフロー液体は制限され,鋭い液体ジェットを形成した。銀インクを用いることにより,液滴がナノスケールノズルを通して放出され,ガラス基板上に微細なパターンを形成した。

シソーラス用語： 印字ヘッド ,  ノズル ,  石英 ,  *銀 ,  被覆 ,  *電気流体力学 ,  *パターン形成 ,  噴流 ,  *インクジェット印刷 ,  インクジェットプリンタ ,  マイクロノズル ,  ドロップオンデマンド
準シソーラス用語： ジェットプリンタ ,  *プリントヘッド ,  *インクジェット ,  ドロップオンデマンド方式

分類 (2件)： 入出力装置  (JC04050U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電気流体力学 ,  インクジェット ,  作製 ,  ドロップオンデマンド ,  精密 ,  パターニング