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J-GLOBAL ID:200902214516970423   整理番号:09A1134404

電気流体力学(EHD)インクジェットヘッドのためのナノスケールノズルの作製及びドロップオンデマンド動作による高精密パターニング

Fabrication of Nanoscale Nozzle for Electrohydrodynamic (EHD) Inkjet Head and High Precision Patterning by Drop-on-Demand Operation
著者 (6件):
資料名:
巻:号: 12  ページ: 7298-7302  発行年: 2009年12月 
JST資料番号: W1351A  ISSN: 1533-4880  CODEN: JNNOAR  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノスケールノズルを有するEHDインクジェットプリントヘッドを用いた,ドロップオンデマンド液滴放出及びパターン形成を述べた。ノズル用の電極を作製するために,電気導電層を,石英ノズルの内部あるいは外部に堆積し,それらの性能を評価した。外部を被覆したノズルでは,液体流がオーバーフローして放出することを示した。内部を銀で被覆したとき,オーバーフロー液体は制限され,鋭い液体ジェットを形成した。銀インクを用いることにより,液滴がナノスケールノズルを通して放出され,ガラス基板上に微細なパターンを形成した。
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分類 (2件):
分類
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入出力装置  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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