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J-GLOBAL ID：200902228975850393   整理番号：09A0366130

超高精度NSKリニアガイド“ハイアキュラシーHSシリーズ”

資料名： NSK Technical Journal  (NSK Technical Journal)
号： 683  ページ： 68-69  発行年： 2009年03月19日 
JST資料番号： S0469A  ISSN： 0911-4920  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 転動体が無限循環するリニアガイドでは高精度を追求すると転動体通過振動による運動精度誤差が問題となるため,転動体通過振動を抑制した超高精度リニアガイドを開発した。工作機械向けのHAタイプと,半導体製造装置や液晶製造装置用のHSタイプがあり,ここでは後者について紹介する。軸受を超長型とし,鋼球循環部を最適設計することにより,狭範囲運動精度も広範囲運動精度も向上した。転動体通過振動を従来比1/3に低減し,テーブルの運動精度を飛躍的に向上させた。その他レール取付け精度や高剛性・高負荷容量についても述べた。

シソーラス用語： *案内装置 ,  転動体 ,  精度 ,  装置 ,  液晶 ,  最適設計 ,  剛性 ,  負荷容量 ,  *リニア軸受
準シソーラス用語： *リニアガイド ,  高剛性 ,  高精度 ,  半導体製造装置

分類 (1件)： 軸受  (QB01020W)

タイトルに関連する用語 (3件)： リニアガイド ,  アキュラシー ,  Hs