文献

J-GLOBAL ID：200902236311893110   整理番号：05A1024674

Vertical Comb型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用

A New Design for Improving Stability of Electrostatic Vertical Comb Mirrors and Its Application to Fiber Optic Variable Attenuators

著者 (4件)： 小尾浩士 (光伸光学工業) ,  山野井俊雄 (光伸光学工業) ,  藤田博之 (東大 生産技研) ,  年吉洋 (東大 生産技研)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 33  号： 11  ページ： 766-771  発行年： 2005年11月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光MEMSの重要な構成要素として多用されている櫛歯型静電アク...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： 光MEMS

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S)

引用文献 (6件)：

• KOUMA, N. Proc. IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMS 2003, Hawaii. 2003
• MILANOVIC, V. Transducers 01, Munich, Germany. 1290
• MILANOVIC, V. Proc. IEEE/LEOS Int. Conf. on Optical MEMS 2002, Lugano, Switzerland. 2002
• KRISNAMOORTHY, U. 2001 International Conference on Optical MEMS, Okinawa, Japan. 2001, 41
• TSUBOI, O. MEMS 2002. 2002, 532

タイトルに関連する用語 (6件)： 静電駆動 ,  ミラー ,  安定化 ,  光ファイバ ,  可変減衰器 ,  応用