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J-GLOBAL ID:200902243428898321   整理番号:06A0389048

Si基板上に形成した多結晶Bi4-xLaxTi3O12薄膜の容量-電圧(C-V)ヒステリシス特性と界面状態の評価

Capacitance-Voltage Hysteresis of Polycrystalline Bi4-xLaxTi3O12 Thin Films formed on Si Substrates and Analysis of Interface States
著者 (3件):
資料名:
巻: 106  号: 6(SDM2006 1-19)  ページ: 51-56  発行年: 2006年04月10日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  固体デバイス材料 

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