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J-GLOBAL ID:200902283162358263   整理番号:04A0342920

NBD法によるStrained-Si-On-Nothing(SSON)構造のひずみの評価

著者 (7件):
資料名:
巻: 51st  号:ページ: 415  発行年: 2004年03月28日 
JST資料番号: Y0054A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
分類
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半導体薄膜 
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