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J-GLOBAL ID：201002219217751220   整理番号：10A0595829

硬質セラミックス薄膜の膜厚,膜硬さ,および基材硬さと密着性の関係

著者 (3件)： 神田一隆 (福井工大) ,  嶋田安広 (福井工大) ,  蓮井俊介 (福井工大)
資料名： 福井工業大学研究紀要(CD-ROM)  (Memoirs of Fukui University of Technology (CD-ROM))
号： 39  ページ： 115-122  発行年： 2009年08月01日 
JST資料番号： X0305B  ISSN： 1884-4456  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 切削工具や金型の表面には,物理蒸着(PVD)法や化学蒸着(CVD)法によって高い密着性を有する硬質被膜を形成させている。この密着性は,中間層の種類,基材温度,コーティング条件,基材の表面状態の他に,膜厚,膜硬さ,膜の種類,基材の硬さにも影響を受ける。ここでは,膜厚,膜種(膜硬さ)および基材種類(基材硬さ)が被膜の密着性に及ぼす影響をスクラッチ試験によって調べた。この結果,密着性低下の要因として膜厚の増大,基材硬さの低下,膜硬さの増大が挙げられる。

シソーラス用語： *金型 ,  *表面処理 ,  物理蒸着 ,  化学蒸着 ,  *薄膜 ,  *密着性 ,  *膜厚 ,  硬度

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 硬質 ,  セラミックス ,  薄膜 ,  膜厚 ,  硬さ ,  密着性