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J-GLOBAL ID：201102214248671610   整理番号：11A0138704

薄膜処理用微細加工装置「SOLFINE JET」

著者 (2件)： 前田和良 (新東エスビーテックカンパニー) ,  渋谷紀仁 (新東エスビーテックカンパニー)
資料名： 新東技報  (Sinto Technical Report)
号： 28  ページ： 31-36  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： L3037A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜太陽電池の製造工程には,膜を積層した後に行う外周絶縁処理工程がある。この工程にはマイクロブラスト工法を用いるが,加工時に加工部以外の膜面を損傷したり,噴射材が残留する等の問題がある。これらの問題を解決するため薄膜太陽電池絶縁処理工程用噴射加工装置「SOLFINE JET」を開発した。本装置の特徴として,粉塵レス(直下吸引ボックスによる噴射材の吸引除去),加工時間の短縮(吸引式フラットノズルの使用とワーク搬送方式の改良)及び省スペースの3つを挙げて説明した。本装置の性能を調べるため,ワーク表面へのダメージ評価及びワーク表面への噴射材付着評価を実施した。いずれの評価でもマイクロブラスト工法よりも良好な結果を得た。

シソーラス用語： 太陽電池 ,  電気絶縁 ,  *微細加工 ,  多層膜 ,  生産工程 ,  塵埃 ,  吸込 ,  加工時間 ,  ノズル ,  工作物
準シソーラス用語： *加工装置 ,  省スペース ,  *薄膜太陽電池

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

引用文献 (1件)：

• 小西ら: 太陽光発電のしくみがわかる本 (2008)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  微細加工装置 ,  JET