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J-GLOBAL ID：201102256908369062   整理番号：11A0554884

超精密複合マイクロ加工機ファナック(株)ROBOnano-UiAによる加工実験について

著者 (6件)： 立花健二 (名古屋大 全学技セ) ,  松下幸司 (名古屋大 全学技セ) ,  岡田則夫 (国立天文台 先端技セ) ,  三ツ井健司 (国立天文台 先端技セ) ,  青山正樹 (分子科研) ,  高田紀子 (分子科研)
資料名： 名古屋大学全学技術センター(理学)装置開発系技術報告
巻： 6  ページ： 7-10  発行年： 2011年03月01日 
JST資料番号： L8422A  ISSN： 1880-8778  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密複合マイクロ加工機ROBOnano-UiA(ファナック(株)製)(ロボナノ)の使用方法に関する講習を受講し加工実験を行った。直交3軸,回転2軸を有し,摩擦無しサーボシステム,振動無し軸受,発熱なし機構等の特徴を持つロボナノの操作に関する講習会に参加した。ロボナノの取り扱い講習後,3種類(平面加工,微細溝加工,V字溝加工)の加工実習を行った。使用工具,工具のバランスとり,工具位置決め,加工条件について概説した。加工実験の結果,ロボナノを用いて非常に精度のよい加工ができることがわかった。

シソーラス用語： *工作機械 ,  *マイクロマシニング ,  会議 ,  加工性試験 ,  微細加工 ,  脆性材料 ,  溝加工 ,  精度 ,  操作 ,  工具 ,  位置決め
準シソーラス用語： マイクロ加工 ,  講習会 ,  超精密工作機械 ,  *超精密複合マイクロ加工機

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超精密 ,  マイクロ加工 ,  株 ,  実験