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J-GLOBAL ID:201202246122782073   整理番号:12A0338385

ナノダイヤ含有メタルレジンボンド砥石の研削性能 第3報:単結晶サファイアの基礎研削特性

著者 (5件):
資料名:
巻: 2011  ページ: 405-406  発行年: 2011年09月07日 
JST資料番号: L0894A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  研削・研摩材 

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