文献

J-GLOBAL ID：201202277665342661   整理番号：12A0054530

2-MBT(2-メルカプトベンゾチアゾール)およびPE-3650(平均分子量3650のポリエーテル)が無電解銅めっきにおけるボトムアップ充填に及ぼす相乗効果

A Synergy Effect of 2-MBT and PE-3650 on the Bottom-Up Filling in Electroless Copper Plating

著者 (4件)： ZAN Lingxing (Shaanxi Normal Univ., Xi’an, CHN) ,  LIU Zonghuai (Shaanxi Normal Univ., Xi’an, CHN) ,  YANG Zupei (Shaanxi Normal Univ., Xi’an, CHN) ,  WANG Zenglin (Shaanxi Normal Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Electrochemical and Solid-State Letters  (Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 14  号： 12  ページ： D107-D109  発行年： 2011年 
JST資料番号： W1290A  ISSN： 1099-0062  CODEN： ESLEF6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ULSIの銅相互接続の作製のための電析に代わる方法として期待される無電解銅析出に関連して,本研究では,2-メルカプトベンゾチアゾール(2-MBT)および平均分子量が3650のポリエーテル(PE-3650)が無電解銅析出に及ぼす相乗効果について調べた。線形掃引ボルタンメトリーでの測定,SEMでの観察,および混成電位理論による考察を行った。その結果,無電解銅析出の速度は2-MBTの添加によって促進され,2-MBTおよびPE-3650の添加によって強く抑制された。2-MBTおよびPE-3650の相乗効果によって,無電解銅めっき浴中でのボトムアップ充填が改善された。SEM観察によって,70から520nmの異なった幅の全てのトレンチが完全に充填され,ボイドは存在しないことが分かった。

シソーラス用語： *窒素複素環化合物 ,  *ポリエーテル ,  *無電解めっき ,  *銅めっき ,  充填 ,  相乗作用 ,  電子顕微鏡観察 ,  添加物効果 ,  *めっき液 ,  抑制 ,  濃度依存性 ,  析出 ,  超LSI ,  エステル ,  有機硫黄化合物 ,  硫黄複素環化合物 ,  芳香族縮合化合物
準シソーラス用語： トレンチ ,  ボトムアップ充填 ,  混成電位 ,  析出速度 ,  線形掃引ボルタンメトリー ,  平均分子量

分類 (4件)： 無電解めっき  (WC08024S) ,  電気化学一般  (CB07010N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  反応速度論・触媒一般  (CB06010G)

物質索引 (1件)： 2-メルカプトベンゾチアゾール

タイトルに関連する用語 (9件)： 2-MBT ,  2-メルカプトベンゾチアゾール ,  PE ,  平均分子量 ,  ポリエーテル ,  電解 ,  銅めっき ,  ボトムアップ ,  相乗効果