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J-GLOBAL ID：201302215211040808   整理番号：13A1589532

水支援化学蒸着を用いて成長したmm長炭素ナノチューブの濾過-湿潤移転透明伝導膜

Filtration-Wet Transferred Transparent Conducting Films of mm Long Carbon Nanotubes Grown Using Water-Assisted Chemical Vapor Deposition

著者 (4件)： PATOLE Shashikant P. (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  SHIN Dong Wook (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  FUGETSU Bunshi (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  YOO Ji-Beom (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 13  号： 11  ページ： 7413-7417  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インジウムスズ酸化物(ITO)膜に替わる新しい透明伝導膜として長い炭素ナノチューブ(CNT)からなる膜を作製した。先ず,水支援化学蒸着を用いて,Si基板に垂直整列した2.4mm長の数層CNT森を成長させた。次に,短時間の成長後水蒸気処理により,CNT森と触媒との接触を除去し,CNT森を基板から分離した。その後,濾過-湿潤移転過程によりCNTからなる透明伝導膜を得た。濾過生成物はメッシュ様のCNTランダムネットワークを示した。作製したCNT透明伝導膜の特性はCNT濃度により異なるが,550nmでの光透過率が72%及び93%の膜は,それぞれ228Ω/sq.及び619Ω/sq.のシート抵抗を示した。また,光/DC伝導率比は光透過率80%以下の膜に対して0.21~0.25であった。

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  酸化インジウムスズ ,  *透明導電膜 ,  ウエハ【IC】 ,  分子配向 ,  *カーボンナノチューブ ,  熱処理 ,  濾過 ,  配向 ,  電気伝導率 ,  透過率 ,  濃度依存性
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  ランダム配向 ,  光透過率 ,  湿式移動 ,  垂直整列 ,  *水アシスト化学蒸着 ,  水蒸気処理

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (9件)： 水 ,  支援 ,  化学蒸着 ,  成長 ,  炭素ナノチューブ ,  濾過 ,  湿潤 ,  移転 ,  伝導