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J-GLOBAL ID：201402269788647345   整理番号：14A0551344

n/p/nエピタクシー構造及びドーピング選択電気化学エッチングを用いた静電駆動4H-SiCマイクロカンチレバ共振器の製造

Fabrication of Electrostatically Actuated 4H-SiC Microcantilever Resonators by Using n/p/n Epitaxial Structures and Doping-selective Electrochemical Etching

著者 (6件)： SATO Kosuke (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  ADACHI Kohei (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  OKAMOTO Hajime (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  YAMAGUCHI Hiroshi (NTT Corp., Kanagawa, JPN) ,  KIMOTO Tsunenobu (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SUDA Jun (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 778/780  号： Pt.2  ページ： 780-783  発行年： 2014年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： エピタクシー ,  ドーピング ,  電気化学エッチング ,  静電駆動 ,  4H-SiC ,  マイクロカンチレバ ,  共振器