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J-GLOBAL ID：201602231423470642   整理番号：16A0880339

水素化Cr/a-Cの構造とトライボロジー特性に及ぼすクロムの影響:反応性マグネトロンスパッタリングシステムにより調製した:H膜【Powered by NICT】

Effect of Chromium on Structure and Tribological Properties of Hydrogenated Cr/a-C:H Films Prepared via a Reactive Magnetron Sputtering System

著者 (5件)： Liu Long (School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Zhou Shengguo (School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Liu Zhengbing (School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Wang Yuechen (School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology) ,  Ma Liqiu (School of Material Science and Engineering, Jiangxi University of Science and Technology)
資料名： Chinese Physics Letters  (Chinese Physics Letters)
巻： 33  号： 2  ページ： 026801-1-026801-5  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1191A  ISSN： 0256-307X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素化Crを取り込んだ炭素膜(Cr/a-C:H)をdc反応性マグネトロンスパッタリングシステムを使用することによって首尾よく堆積した。堆積したCr/a-C:H膜の構造と機械的性質を電界放出走査電子顕微鏡,X線回折,Ramanスペクトル,ナノインデンテーションとスクラッチにより系統的に特性化した。最適Cr金属はナノ結晶炭化物を形成する非晶質炭素マトリックス,CH_4流量20sccmで堆積したCr/a-C:H膜の36Nの臨界荷重(L_C)で15.7GPaの比較的高いナノ硬度,126.8GPaの弾性係数及び最良の密着強さを有するの硬さ,靭性と付着強度を改善することを示した。堆積したCr/a-C:H膜の摩擦と摩耗挙動は,周囲空気と脱イオン水の両条件下で評価した。結果は,大気条件下でCH_4流量20sccmで堆積したCr/a-C:H膜の優れた低摩擦と耐摩耗性能を達成でき,脱イオン水条件で試験した摩擦係数と摩耗率は,各膜の周囲空気条件で試験したものと比べて相対的に低いことを明らかにした。Cr/a-C:H膜の機械的およびトライボロジー的性質の優れた組み合わせは,工学応用のための良い候補材料である。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 脱イオン水 ,  摩擦係数 ,  付着強さ ,  キャラクタリゼーション ,  *反応性 ,  摩耗率 ,  Ramanスペクトル ,  硬度 ,  ナノ結晶 ,  *トライボロジー ,  ナノインデンテーション ,  耐摩耗性 ,  炭化物 ,  *水素化
準シソーラス用語： *反応性マグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 固体の製造・処理一般  (XD03021O) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  塩  (CD01050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水素化 ,  Cr ,  トライボロジー特性 ,  クロム ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  調製