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J-GLOBAL ID:201602235247757897   整理番号:16A1373781

室温で加工した超高周波インジウム-ガリウム-亜鉛-酸化物Schottkyダイオード

Room Temperature Processed Ultrahigh-Frequency Indium-Gallium-Zinc-Oxide Schottky Diode
著者 (6件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 389-392  発行年: 2016年 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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最も有望なアモルファス半導体の1つであるにもかかわらず,インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物(IGZO)の研究の多くは低周波トランジスタに関するもので,高速ダイオードに向けられた努力は限られていた。本稿では,異なる活性領域を有するIGZOショットキーダイオードを,ガラス基板上の共平面マイクロ波導波路内に室温で製作した。ダイオード面積を小さくすることによって,ゼロバイアス時のカットオフ周波数を向上することができた。アクティブエリアが200μm2のダイオードでは,その固有カットオフ周波数が20GHzを超えることを示した。ダイオードに負荷を接続した整流回路は,15dBmの入力電力で4.2GHzのカットオフ周波数を示した。内因的成分および外因的成分を含めて,ダイオード特性に基づいたシミュレーションを行った。その結果は実験データとよく一致した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST
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分類 (1件):
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ダイオード 

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