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J-GLOBAL ID：201602246529339436   整理番号：16A0768932

XRFおよびXPS分析avogadro定数の決定によるシリコン球の表面特性化【Powered by NICT】

Surface characterization of silicon spheres by combined XRF and XPS analysis for determination of the avogadro constant

著者 (8件)： Fliegauf Rolf (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany) ,  Beckhoff Burkhard (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany) ,  Beyer Edyta (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany) ,  Darlatt Erik (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany) ,  Holfelder Ina (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany) ,  Honicke Philipp (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany) ,  Ulm Gerhard (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany) ,  Kolbe Michael (Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： CPEM 2016  ページ： 1-2  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単結晶シリコン球の定量的表面特性化のためにPTBは分析装置,蛍光X線およびX線光電子分光法を組み合わせたを構築し,運用してきた。この新規計装の主な目的は,酸化物層と非意図的汚染の特性化,例えば炭化水素である。は直径約93.6mmの球状試料の表面上の各点で測定することを可能にするボールマニプレータを備えている。この直径を持つ単結晶ケイ素球は,質量のSI基本単位の実現を可能にした。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分析機器 ,  単結晶 ,  *表面性状 ,  固有X線 ,  *X線光電子分光法 ,  *キャラクタリゼーション ,  炭化水素 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： 酸化物層 ,  単結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： パターン認識  (JE07000S) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (5件)： XRF ,  XPS分析 ,  Avogadro定数 ,  シリコン ,  表面特性