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J-GLOBAL ID：201602260455574163   整理番号：16A1066073

ステンレス鋼をベースにした圧力センサに及ぼすN層スクリーン印刷セラミック【Powered by NICT】

N-layer screen printed ceramic on stainless steel based pressure sensor

著者 (6件)： Wang Xiaoping (Research and Development Department, FineMEMS Inc., Wuhan 430075, CHINA) ,  Wu Dengfeng (Research and Development Department, FineMEMS Inc., Wuhan 430075, CHINA) ,  Cao Wan (Research and Development Department, FineMEMS Inc., Wuhan 430075, CHINA) ,  Li Fanliang (Research and Development Department, FineMEMS Inc., Wuhan 430075, CHINA) ,  Wang Xiaoyan (Research and Development Department, FineMEMS Inc., Wuhan 430075, CHINA) ,  Liu Sheng (School of Power and Mechanical Engineering, Wuhan University, 430072, CHINA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ICEPT  ページ： 1311-1314  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ステンレス鋼に基づく圧力センサにn層スクリーン印刷セラミックを設計し,作製し,高圧での厳しい環境アプリケーションのための基礎として特性化されている。誘電セラミック膜の数層をスクリーン印刷と焼成により薄くて柔軟なステンレス鋼ダイアフラム上に堆積した。有限要素解析(FEA)法をWheatstoneブリッジを形成する四厚膜ピエゾ抵抗の分布を決定するために用いた。焼成条件とCTEミスマッチとにより影響され,セラミックとステンレス鋼との間の適合性を研究した。誘電セラミック層の微細構造をSEMで分析した。熱衝撃と電気試験は,圧力センサの性能を評価するために実施した。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 厚膜 ,  高圧 ,  ダイヤフラム ,  *圧力センサ ,  熱衝撃 ,  *スクリーン印刷 ,  不整合 ,  キャラクタリゼーション ,  電気試験 ,  *セラミック ,  セラミック膜 ,  *ステンレス鋼
準シソーラス用語： 圧電抵抗 ,  Wheatstoneブリッジ ,  有限要素解析 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (4件)： ステンレス鋼 ,  圧力センサ ,  スクリーン印刷 ,  セラミック