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J-GLOBAL ID：201602266708502755   整理番号：16A1356669

真空アーク蒸着により作製した(Zr Ti Cr Nb Si)N被覆の構造および特性に及ぼすSi添加と蒸着条件の影響【Powered by NICT】

The effect of Si additions and deposition conditions on the structure and properties of the (Zr-Ti-Cr-Nb-Si)N coatings fabricated by vacuum-arc deposition

著者 (4件)： Maksakova O. V. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine) ,  Plotnikov S. V. (D. Serikbaev East Kazakhstan state technical university, 69, Protozanova St., 070004, Ust-Kamenogorsk, Kazakhstan) ,  Eskermesov D. K. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine) ,  Yurchenko D. (Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova St., 40007 Sumy, Ukraine)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： NAP  ページ： 01NTF19-1-01NTF19-4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (Zr Ti Cr Nb Si)Nに基づいた被覆を,窒素雰囲気中での真空アーク蒸着により作製した。種々の蒸着条件下で化学組成,形態および機械的性質を研究した。Si添加の影響をEDS,XRD,RBS,TEM,硬さ測定および接着試験とSEMを用いて調べた。多成分(Zr Ti Cr Nb Si)Nコーティングは単純な面心立方(FCC)固溶体であることが分かった。窒化物皮膜の機械的特性とトライボロジー特性は,微細構造によって強く影響された。硬さの値は21~42GPaの範囲であった。を決定した,高硬度の皮膜は良好な接着強度を有することを示した。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 接着試験 ,  *被覆 ,  化学組成 ,  接着強さ ,  固溶体 ,  *ケイ素 ,  窒化物 ,  *蒸着 ,  硬度 ,  皮膜
準シソーラス用語： 高硬度 ,  トライボロジー特性 ,  硬さ測定 ,  窒素雰囲気 ,  *アークイオンプレーティング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 信号理論  (ND02020G)

タイトルに関連する用語 (8件)： 真空アーク蒸着 ,  作製 ,  Zr ,  Ti ,  Cr ,  Nb ,  Si ,  蒸着