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J-GLOBAL ID：201602276280194362   整理番号：16A0731413

マイクロ波CVDによるAr CO_2~-CH_4ガス混合物中の超ナノ結晶ダイヤモンド膜【JST・京大機械翻訳】

Ultrananocrystalline Diamond Films Deposited in Ar-CO_2- CH_4 Gas Mixtures by Microwave CVD

著者 (10件)： Feng Jie (Central South University) ,  Qi Yao (Central South University) ,  Sheng Jingkai (Nanjing Sanle Electronic Information Industry Group Co., LTD) ,  Li Zhou (Central South University) ,  Ma Li (Central South University) ,  Wu Xianzhe (Central South University) ,  Hu Dongping (Institute of Systems Engineering, CAEP) ,  Mei Jun (Institute of Systems Engineering, CAEP) ,  Yu Zhiming (Central South University) ,  Wei Qiuping (Central South University)
資料名： Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng  (Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng)
巻： 44  号： 12  ページ： 3009-3013  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： W0563A  ISSN： 1002-185X  CODEN： XJCGEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超ナノ結晶ダイヤモンド膜をガス源としてAr CO_2~-CH_4を用いたマイクロ波化学蒸着(CVD)システムにより堆積した。ダイヤモンド膜の形態に及ぼすプロセス条件の影響を調べた。結果は,厚さ5μmの,結晶サイズ20nm,表面粗さ16nm以下のコンパクトな超ナノ結晶膜を堆積できることを示した。堆積速度はAr CH_4システムにCO_2を添加することにより著しく改善された。しかし,このガス源を採用するコンパクトなナノダイヤモンド膜の蒸着のためのガス源のパラメータウィンドウは非常に狭い。理由と最適プロセス条件を調べるためにさらなる研究が必要である。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

著者キーワード (5件)： ultrananocrystalline diamond ,  microwave CVD ,  Raman analysis ,  AFM ,  deposition rate

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ波 ,  CVD ,  Ar ,  ガス混合物 ,  ナノ結晶ダイヤモンド膜