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J-GLOBAL ID：201602277189227169   整理番号：16A1320149

セミコン・ジャパンで注目を集める製品と技術 横河ソリューションサービスのミニマルファブトータルソリューション

著者 (3件)： 村國大志 (横河ソリューションサービス) ,  柴育成 (横河ソリューションサービス) ,  永井亨 (横河ソリューションサービス)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 26  号： 12  ページ： 32-34  発行年： 2016年12月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 横河ソリューションサービス(株)のミニマルファブへの関わりとその普及に向けて果たす役割について紹介した。ミニマルファブ構想は,半導体の多品種少量生産に最適化されたファブシステムである。製品1個流し,およびマスクレス露光技術を基本とし,クリーンルームが不要で大幅な省エネ,省資源を実現する手法である。横河ソリューションサービス(株)は,2012年に発足した国家プロジェクト「革新的製造プロセス技術開発」に参加し,ビジネスモデルの確立にあたった。ビジネスモデルは,アプリケーションラボでの試作・開発,装置一括販売,各種コンサル&ソリューション,アフターサポートを提供するものである。2016年横河本社内に民間企業として最初のミニマルファブの「インキュベーションセンタ」を開設した。計32台のミニマル装置の設置が可能である。

シソーラス用語： *装置 ,  *多種少量生産 ,  省エネルギー ,  省資源 ,  リソグラフィー ,  プロジェクト ,  生産工程 ,  モデル
準シソーラス用語： ビジネスモデル ,  マスクレスリソグラフィー ,  国家プロジェクト ,  省エネルギー化 ,  製造プロセス ,  *多品種少量生産 ,  *半導体製造装置

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 注目 ,  河 ,  ソリューション ,  サービス