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J-GLOBAL ID：201602277374161174   整理番号：16A0785268

超高精度のイオンビームフィギュアリングツール設計と性能分析【JST・京大機械翻訳】

Design and performance analysis of ultra-precisionion beam polishing tool

著者 (4件)： Lu Ying (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology; Hunan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology) ,  Xie Xuhui (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology; Hunan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology) ,  Zhou Lin (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology; Hunan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology) ,  Peng Wenqiang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology; Hunan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology)
資料名： Guofang Keji Daxue Xuebao  (Guofang Keji Daxue Xuebao)
巻： 37  号： 6  ページ： 17-20  発行年： 2015年12月28日 
JST資料番号： W0569A  ISSN： 1001-2486  CODEN： GKDXEM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高精度光学修正問題を解決するために,イオンビーム研磨ツールの設計と性能解析の研究を行った。イオンビーム研磨ツール設計方法の研究と、集束イオン光学システムの構造を設計し,イオンビームの特性分析の展開によって,コンピュータをシミュレーション研究と中性化の一体化設計を行った;イオン集束光学系と中性化を開発し,15MMと10MMのイオン集束光学系を採用し,口径150MMの石英平面鏡からRMSは0.79NM初期形状誤差RMSは15.58NMまで修正した。修正加工実験を行った。結果は集束イオン光学システム設計の有効性を証明し,一体化イオンビーム研磨ツールはサブナノメートル精度の修正能力を持つ。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 石英 ,  イオン光学 ,  中性化 ,  イオンエッチング ,  *イオンビーム ,  光学系 ,  *性能分析 ,  *イオン ,  集束 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： 光学システム設計 ,  形状誤差 ,  平面鏡 ,  *高精度 ,  *超高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： ion beam figuring ,  focused ion optical system ,  ion beam performance

分類 (1件)： その他の伝送回路素子  (NC04070U)

タイトルに関連する用語 (2件)： 設計 ,  性能分析