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J-GLOBAL ID：201602277387116725   整理番号：16A0785678

波数分解能に基づく低コヒーレンス干渉ステップ高さ測定システムの研究【JST・京大機械翻訳】

Research on a Wavenumber Resolved Low Coherence Interferometry for Step Height Measurement

著者 (5件)： Zhao Keqiang (Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University) ,  Xie Fang (Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University) ,  Ma Sen (Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University) ,  Wang Yunzhi (Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University) ,  Chen Liang (Department of Physics, School of Science, Beijing Jiaotong University)
資料名： Guangxue Xuebao  (Guangxue Xuebao)
巻： 35  号： 11  ページ： 1112006-1-1112006-8  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2088A  ISSN： 0253-2239  CODEN： GUXUDC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ステップ高さ測定システムに干渉する1つの波数分解能に基づく低コヒーレンスを提案した。広帯域光源の発したから光ファイバMICHELSON干渉計により測定された情報を取得する,格子分散を広帯域ビーム分散を波長連続空間分布の写真となって,からCCD検出アレイを干渉。CCDの各画素の検出アレイの各波長を干渉信号の対応する波数に干渉信号を変換する。波数の干渉信号を,隣接する2つの干渉信号のピークの間の波数の変化と干渉計の光路長差の絶対値に対して正比例を呈している。従って,この測定システムを利用してステップの高さ等の物理量の絶対測定を実現できる。利用測定システムにおける光ファイバMICHELSON干渉計の2つの干渉アームの長さを短縮し,測定システムに及ぼす環境干渉の影響を減少する,高測定精度を得る。本測定システムの測定分解能は6.03 NMであった。1つの高さ50 ΜMの段差に対する反復10回の測定,測定結果の相対標準偏差は6.8 NMであった。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉計 ,  *分解能 ,  広帯域 ,  絶対測定 ,  波長 ,  *コヒーレンス ,  絶対値 ,  空間分布 ,  *干渉 ,  *計測システム ,  *波数 ,  測定精度 ,  画素
準シソーラス用語： 光路長 ,  *高さ測定 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： measurement ,  low coherence interferometry ,  wavenumber resolved ,  step height measurement ,  op ? tical dispersion

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (6件)： 波数 ,  分解能 ,  コヒーレンス ,  干渉 ,  高さ測定 ,  研究