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J-GLOBAL ID：201602277791882356   整理番号：16A0880102

Au担持タングステン酸化物ナノワイヤ/多孔質シリコン混成構造の室温NO_2ガスセンシング【Powered by NICT】

Room temperature NO_2 gas sensing of Au-loaded tungsten oxide nanowires/porous silicon hybrid structure

著者 (5件)： Wang Dengfeng (School of Electronics and Information Engineering, Tianjin University) ,  Liang Jiran (School of Electronics and Information Engineering, Tianjin University) ,  Li Changqing (School of Electronics and Information Engineering, Tianjin University) ,  Yan Wenjun (School of Electronics and Information Engineering, Tianjin University) ,  Hu Ming (School of Electronics and Information Engineering, Tianjin University)
資料名： Chinese Physics B  (Chinese Physics B)
巻： 25  号： 2  ページ： 028102-1-028102-6  発行年： 2016年02月 
JST資料番号： W1539A  ISSN： 1674-1056  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,金(Au)ナノ粒子で修飾した酸化タングステン(WO_3)ナノワイヤ/多孔質シリコン(PS)に基づく強化された二酸化窒素(NO_2)ガスセンサを報告した。直径10nm,25nm,長さ300nm-500nmのAu担持WO_3ナノワイヤを多孔質シリコン基板上にスパッタリング法により作製した。高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)顕微鏡写真は,Auナノ粒子はWO_3ナノワイヤの表面上に均一に分布していることを示した。WO_3ナノワイヤ/多孔質シリコンのNO_2センシング性能に及ぼすAuナノ粒子の効果は低濃度範囲室温(25 °C)で0.2ppm,5ppm NO_2の上で調べた。10-A Au担持WO_3ナノワイヤ/多孔質シリコンをベースにしたセンサは最高のガス応答特性を有することが分かった。Au WO_3ナノワイヤ/多孔質シリコンの増強された検出特性の基礎となる機構についても考察した。Data from the ScienceChina, LCAS.【Powered by NICT】

シソーラス用語： スパッタリング ,  *ナノワイヤ ,  顕微鏡写真 ,  センサ ,  二酸化窒素 ,  応答特性 ,  ガスセンサ ,  *酸化タングステン
準シソーラス用語： 低濃度 ,  金ナノ粒子 ,  HRTEM , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Au ,  WO_3ナノワイヤ ,  ハイブリッド構造 ,  ガスセンシング

分類 (9件)： 爆薬工業一般  (YE06010L) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  八員環以上の複素環化合物  (CF07120T) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  トランジスタ  (NC03070N) ,  燃料電池  (YB04040V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： Au ,  担持 ,  タングステン酸化物 ,  ナノワイヤ ,  多孔質シリコン ,  室温 ,  センシング