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J-GLOBAL ID：201602278231608193   整理番号：16A1012436

CrN/CrON/Al₂O₃スペクトル選択性コーティングのスペクトル特性及び熱安定性

Spectral properties and thermal stability of CrN/CrON/Al₂O₃ spectrally selective coating

著者 (5件)： Tsai T.K. (Department of Materials Science and Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin 632, Taiwan) ,  Tsai T.K. (Graduate Institute of Materials Science and Green Energy Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin, Taiwan) ,  Li Y.H. (Graduate Institute of Materials Science and Green Energy Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin, Taiwan) ,  Fang J.S. (Department of Materials Science and Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin 632, Taiwan) ,  Fang J.S. (Graduate Institute of Materials Science and Green Energy Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin, Taiwan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 615  ページ： 91-96  発行年： 2016年09月30日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性DCマグネトロンスパッタ法により,ベース層から上層に徐々に減少する屈折率を有するように設計した多層CrN(H)/CrN(L)/CrON/Al₂O₃スペクトル選択性コーティングをステンレス鋼基板上に堆積した。最高のスペクトル特性を達成するように,CrN(H),CrN(L),CrON,及びAl₂O₃層の厚さを最適化した。空気中で300-500°Cにおいて,熱安定性試験を実施した。60nm膜厚のCrN(H),50nm膜厚のCrN(L),40nm膜厚のCrON,及び40nm膜厚のAl₂O₃層により,CrN(H)/CrN(L)/CrON/Al₂O₃多層コーティングを構成した場合,0.93の吸収率及び0.14の熱放射率を得た。CrN/CrON/Al₂O₃は,空気中で400°Cまで熱的に安定であった。CrN/CrON/Al₂O₃を空気中で500°Cにおいて加熱した場合,CrN(L)層の酸化及びCrON層の相変態は,多層構造を破壊し,スペクトル特性を低下させた。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *クロム化合物 ,  窒化物 ,  酸化クロム ,  *酸化アルミニウム ,  *特性 ,  *選択性 ,  *被覆 ,  *熱安定性 ,  マグネトロンスパッタリング ,  屈折率分布 ,  多層構造 ,  膜厚 ,  吸収係数 ,  熱放射率 ,  酸化 ,  相変態
準シソーラス用語： 窒化クロム ,  *スペクトル特性 ,  *コーティング ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  光吸収率

著者キーワード (5件)： Chromium nitride ,  Chromium oxynitride ,  Spectrally selective coating ,  Solar absorptance ,  Thermal emittance

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  光学情報処理  (BD03060T)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al2O3 ,  スペクトル ,  選択性 ,  コーティング ,  スペクトル特性 ,  熱安定性