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J-GLOBAL ID：201602285853776157   整理番号：16A0960779

平板を示したLTPS調製のためのELAビーム整形システム【JST・京大機械翻訳】

ELA-beam shaping systems for flat panel display prepared by LTPS

著者 (3件)： Yin Guangyue (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science) ,  You Libing (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science) ,  Fang Xiaodong (Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science)
資料名： Jiguang Jishu  (Jiguang Jishu)
巻： 40  号： 3  ページ： 383-387  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2072A  ISSN： 1001-3806  CODEN： JJISEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 多結晶シリコン薄膜およびアモルファスシリコン薄膜のフラットパネルディスプレイ分野での優位性はエキシマレーザを比較的晶化制備ポリシリコン膜の結晶化過程を紹介した。レンズアレイは拡散の原理を実現したことについて紹介した。典型的なエキシマレーザアニーリング線形ビーム整形システムの拡大や、拡散、投影などの構造について述べた。また,エキシマレーザの調製が低温ポリシリコン領域の連続横方向固化技術の応用を紹介した。エキシマレーザアニール光学系の発展現状を検討し,そのフラットパネルディスプレイ業界の重要な意義を指摘した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エキシマレーザ ,  線形性 ,  ポリシリコン ,  凝固 ,  非晶質 ,  結晶化 ,  *ビーム成形 ,  光学系 ,  フラットパネルディスプレイ ,  多結晶
準シソーラス用語： レンズアレイ ,  シリコン薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： laser technique ,  flat panel display ,  excimer laser annealing ,  low temperature poly silicon ,  beam shaping ,  beam homogenization

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 平板 ,  LTPS ,  調製 ,  ビーム整形