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J-GLOBAL ID：201602289189137520   整理番号：16A1000496

マイクロアコースティックゾル噴霧(MASA)に基づいた薄膜堆積

Thin film deposition based on microacoustic sol atomization (MASA)

著者 (5件)： Winkler A. (Leibniz Institute for Solid State and Material Research Dresden (IFW), SAWLab Saxony, Dresden, Germany) ,  Kirchner A. (Leibniz Institute for Solid State and Material Research Dresden (IFW), Department for Superconducting Materials, Dresden, Germany) ,  Bergelt P. (Leibniz Institute for Solid State and Material Research Dresden (IFW), SAWLab Saxony, Dresden, Germany) ,  Huehne R. (Leibniz Institute for Solid State and Material Research Dresden (IFW), Department for Superconducting Materials, Dresden, Germany) ,  Menzel S. (Leibniz Institute for Solid State and Material Research Dresden (IFW), SAWLab Saxony, Dresden, Germany)
資料名： Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)
巻： 78  号： 1  ページ： 26-33  発行年： 2016年04月 
JST資料番号： W0812A  ISSN： 0928-0707  CODEN： JSGTEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,著者らはマイクロアコースティックゾル噴霧(MASA)とそれに続くゲル縮合に基づいて,機能性薄膜の堆積のための革新的方法を示す。この方法は低ミクロンの範囲の液滴の狭いサイズ分布,微小化したエアロゲル源そしてロール・ツー・ロール法の使用性方式を含み,既存のゾルゲル堆積法(すなわち,インクジェット印刷または浸漬コーティング)に対していくつかの利点を提供する。この技術は3つの連続工程にわけられる:第1段階では,高振動数表面音響波が前駆体溶液(ゾル)を超微細エアロゾル中にに微細化する。第2段階で,基板表面にエアロゾルが凝結し,ゲルを生成し,第3段階で結晶性薄膜に熱分解される。2軸組織Ni-5%Wテープ上にLa₂Zr₂O₇緩衝層堆積で新し方法を示した。4および7μmの液滴径中央値のエアロゾルを,それぞれプロピオン酸または水に基づいてランタン/ジルコニウム前駆体溶液から作製した。エアロゾル連続作製を数分維持して,約1cm×5cmの面積上に液滴凝結を可能にした。厚さ約100nmの結晶化したLa₂Zr₂O₇膜のX線回折研究は,強い(001)配向を有する高い結晶品質を示す。そのうえ,著者らの結果は,衝突する液滴が残留溶媒を含む場合に,エーロゾル生成,ならびに液滴凝結と薄膜生成に関して流体化学の大きい影響を示す。Copyright 2015 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜 ,  *堆積 ,  *噴霧 ,  *ゾル ,  液滴径分布 ,  エアロゲル ,  生産方式 ,  *弾性表面波 ,  微粒化 ,  液滴 ,  ニッケル合金 ,  ジルコニウム酸塩 ,  ランタン化合物 ,  熱分解 ,  凝結 ,  エアロゾル ,  タングステン含有合金 ,  ランタン錯体 ,  ジルコニウム錯体 ,  バッファ層 ,  結晶化 ,  ニオブ酸リチウム ,  *セラミック被覆 ,  脂肪族ケトン ,  ジケトン ,  脂肪酸
準シソーラス用語： ジルコニウム酸ランタン ,  *マイクロアコースティックゾル噴霧 ,  ロール・ツー・ロール ,  液体微粒化

著者キーワード (5件)： Thin film deposition ,  Surface acoustic waves ,  Atomization ,  Morphology ,  Lanthanum zirconate (LZO)

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (2件)： 2,4-ペンタンジオン ,  プロピオン酸

タイトルに関連する用語 (4件)： 噴霧 ,  MASA ,  薄膜 ,  堆積