文献

J-GLOBAL ID：201702210247348111   整理番号：17A0551236

パルスレーザー蒸着(PLD)装置の高度化および金属薄膜における表面モフォロジーの評価

著者 (2件)： 鈴木雄太 (東京理大 基礎工) ,  小嗣真人 (東京理大 基礎工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.17p-501-6  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルスレーザ蒸着 ,  *金属薄膜 ,  *モルフォロジー ,  *表面構造 ,  磁性材料 ,  レーザパルス ,  安定化
準シソーラス用語： *表面モルフォロジー

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (6件)： パルスレーザー蒸着 ,  PLD ,  高度化 ,  金属薄膜 ,  表面モフォロジー ,  評価