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J-GLOBAL ID：201702210474999284   整理番号：17A0736301

Nドープダイヤモンド薄膜の調製と微細構造解析【JST・京大機械翻訳】

Deposition and Microstructure Analysis of Nitrogen Doped Diamond-Like Carbon Films

著者 (4件)： Yang Bingchu (Shool of Physics Science and Technology, Central South University) ,  Chen Haiping (Shool of Physics Science and Technology, Central South University) ,  Zeng Lili (Shool of Physics Science and Technology, Central South University) ,  Zhao Zheng (Shool of Physics Science and Technology, Central South University)
資料名： Bandaoti Jishu  (Bandaoti Jishu)
巻： 34  号： 8  ページ： 770-774  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2378A  ISSN： 1003-353X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)と窒素ドープダイヤモンド薄膜(DLC:N)を,DCマグネトロンスパッタリングにより,ガラス基板上に堆積した。膜の微細構造をRAMANスペクトル,X線光電子分光法(XPS),FOURIER変換赤外分光法(FTIR)により解析した。RAMANスペクトルの結果によると、窒素ドープダイヤモンド膜は依然として典型的なダイヤモンド様膜構造を持ち、ダイヤモンド薄膜中にNをドープすると、膜中のSP3/SP2の比率を向上させるだけでなく、SP2結合の相転移も阻止することができる。FTIRスペクトルは,NとC原子がC-N,C=N,C≡N結合を形成することを示し,一方,NとC元素は,NとC元素を除いて,CとN1Sのデコンボリューションを示した。Nをドープしたダイヤモンド膜中のC、N結合エネルギーは明らかな移動が発生し、計算から薄膜中のNの含有量は13.5%であることが分かった。薄膜の表面形態図(AFM)により、ダイヤモンド薄膜中にNをドーピングすることにより、その表面形態を改善できることが分かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： デコンボリューション ,  膜構造 ,  結合エネルギー ,  X線光電子分光法 ,  *ドーピング ,  赤外吸収スペクトル ,  相転移 ,  *薄膜 ,  X線光電子スペクトル ,  *ダイヤモンド ,  *微細構造
準シソーラス用語： 表面形態 ,  FTIRスペクトル ,  ガラス基板 ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  窒素ドーピング ,  *ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： direct current magnetron sputtering ,  diamond-like carbon film ,  micmstructure ,  binding energyEEACC: 2550

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： ドープ ,  ダイヤモンド薄膜 ,  調製 ,  微細構造 ,  解析